
3月15日,由中國(guó)電工技術(shù)學(xué)會(huì)主持、寧夏超導(dǎo)泛科技有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“寧夏超導(dǎo)泛科技”)牽頭組織的“高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長(zhǎng)裝備、技術(shù)及應(yīng)用科技成果鑒定會(huì)”在寧夏銀川市舉辦。
鑒定會(huì)上,由中國(guó)科學(xué)院院士甘子釗領(lǐng)銜的專(zhuān)家委員會(huì)對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了全面評(píng)估。專(zhuān)家一致認(rèn)為,該技術(shù)填補(bǔ)了我國(guó)在高端硅晶體制造領(lǐng)域的多項(xiàng)空白,綜合性能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
據(jù)介紹,高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長(zhǎng)裝備、技術(shù)及應(yīng)用的關(guān)鍵,在于引入高溫超導(dǎo)磁體技術(shù)。科研團(tuán)隊(duì)針對(duì)高品質(zhì)大尺寸硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)瓶頸,研制出高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長(zhǎng)裝備,形成大尺寸硅單晶長(zhǎng)棒快速、高穩(wěn)定性、低含氧量的生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)大尺寸(12英寸以上)高品質(zhì)硅單晶的生產(chǎn),經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益顯著。
科技日?qǐng)?bào)記者 魏依晨 攝
根據(jù)項(xiàng)目報(bào)告顯示,寧夏超導(dǎo)泛科技自主研發(fā)的高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備及技術(shù),可將硅片含氧量穩(wěn)定控制在5ppma(質(zhì)量百萬(wàn)分比)以下,硅棒頭尾利用率提升4%以上,生產(chǎn)效率提升12%,目前已拉出直徑達(dá)340毫米的高品質(zhì)硅棒。
甘子釗院士在評(píng)審中表示:“這是國(guó)際上首次將高溫超導(dǎo)技術(shù)應(yīng)用于磁控直拉單晶生長(zhǎng),為高溫超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化做了很多開(kāi)創(chuàng)性的工作,開(kāi)辟了超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化新賽道?!彼貏e提到,該技術(shù)對(duì)實(shí)現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)具有戰(zhàn)略意義。